Modeling MEMS and NEMS / John A. Pelesko and David H. Bernstein.

Por: Pelesko, John AColaborador(es): Bernstein, David HTipo de material: TextoTextoDetalles de publicación: Boca Raton, FL : Chapman & Hall/CRC, 2003Descripción: xxiii, 357 p. : il. ; 24 cmISBN: 1584883065Tema(s): Sistemas microelectromecánicos -- Modelos matemáticos
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