Modeling MEMS and NEMS /
Pelesko, John A.
Modeling MEMS and NEMS / John A. Pelesko and David H. Bernstein. - Boca Raton, FL : Chapman & Hall/CRC, 2003. - xxiii, 357 p. : il. ; 24 cm.
Bibliografía. Indices
1584883065
Sistemas microelectromecánicos--Modelos matemáticos.