TY - BOOK AU - Pelesko,John A. AU - Bernstein,David H TI - Modeling MEMS and NEMS SN - 1584883065 PY - 2003/// CY - Boca Raton, FL PB - Chapman & Hall/CRC KW - Sistemas microelectromecánicos KW - Modelos matemáticos KW - CSICAU N1 - Bibliografía. Indices ER -