Pelesko, John A.

Modeling MEMS and NEMS / John A. Pelesko and David H. Bernstein. - Boca Raton, FL : Chapman & Hall/CRC, 2003. - xxiii, 357 p. : il. ; 24 cm.

Bibliografía. Indices

ISBN: 1584883065

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos--Modelos matemáticos.