Reliability of MEMS / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya.

Colaborador(es): Tsuchiya, Toshiyuki | Tabata, Osamu, 1956-Tipo de material: Texto

TextoSeries Advanced micro & nanosystems ; v.6Detalles de publicación: Weinheim : Wiley-VCH, c2008Descripción: xx, 303 p. : ill. ; 25 cmISBN: 9783527314942Tema(s): SISTEMAS MICROELECTROMECÁNICOS -- FIABILIDAD | MEMSClasificación CDD: 621

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"Testing of materials and devices"--Cover.

Includes bibliographical references and index.